Ηλεκτρονική γραμμή ανωτισμού με θειικό οξύ καθαρού συστατικού για υποστρώματα αλουμινίου υψηλής καθαρότητας

Αυτή η πλήρως αυτόματη γραμμή ανωτισμού καθαρού τύπου θειικού οξέος είναι σχεδιασμένη αποκλειστικά για εξαρτήματα ημιαγωγών αλουμινίου υψηλής καθαρότητας.Παράγει ομοιόμορφο φιλμ φυσικού διαυγής οξειδίου 8-15 μm χωρίς μόλυνση από χρωματισμό με μεταλλικό αλάτιΗ γραμμή υποστηρίζει σφράγιση με ζεστό νερό ή σφράγιση χωρίς νικέλιο μεσαίας θερμοκρασίας για την εκπλήρωση αυστηρών απαιτήσεων καθαριότητας των ημιαγωγών και εξόδου αερίων.

1. Απολιπαντική (καθαρή απολιπαντική με χαμηλή περιεκτικότητα σε επιφανειακά δραστικές ουσίες)
2. Πολλαπλό στάδιο ξεπλύματος με καθαρό νερό
3. Ελαφριά επεξεργασία αποβλήτων
4. Ανωδικοποίηση με θειικό οξύ υψηλής καθαρότητας
5. Συνεχής πλύση κατά καταρράκτη με υπερκαθαρό νερό
6. Σφραγισμός: Σφραγισμός με ζεστό νερό / Σφραγισμός μεσαίας θερμοκρασίας χωρίς νικέλιο
7. Τελικό ξεπλύσιμο με καθαρό νερό
8. Ελεγχόμενη ξήρανση χαμηλής θερμοκρασίας

• Η πλήρως αυτόματη λειτουργία διασφαλίζει σταθερό πάχος ταινίας εντός 8-15 μm σε όλες τις παρτίδες
• Η βαφή με μεταλλικά άλατα καταργείται για την πρόληψη της ιονικής ρύπανσης που επηρεάζει τις επιδόσεις των ημιαγωγών
• Υποστηρίζει λύσεις σφράγισης χωρίς νικέλιο, που συμμορφώνονται με τα περιβαλλοντικά πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών και τα πρότυπα εκπομπών αερίων
• Εξοπλισμένο με συνεχές φιλτράρισμα υψηλής ακρίβειας και υπερκαθαρή παροχή νερού για τη διατήρηση της καθαρότητας του μπάνιου
• Οι αυστηρά ελεγχόμενες καταρράκτες ξεπλύματος ελαχιστοποιούν τα υπολείμματα οξέος και την μεταφορά ξένων σωματιδίων

• Ομάδα δεξαμενής προεπεξεργασίας
• Υψηλής καθαρότητας δεξαμενή ανωτισμού θειικού οξέος
• Πολλαπλό στάδιο συστήματος πλύσης UPW
• Τάγμα σφράγισης (σφράγιση με μέση θερμοκρασία με ζεστό νερό / χωρίς νικέλιο)
• Διορθωτής ανωτισμού συνεχούς ρεύματος
• Σύστημα φίλτρου κυκλοφορίας υψηλής ακρίβειας
• Καθαρός φούρνος ξήρανσης χαμηλής θερμοκρασίας
• Μονάδα επεξεργασίας λυμάτων
• Αυτοματοποιημένο γερανό κιβωτίου PLC και κεντρικό σύστημα ελέγχου

Τα μεταλλικά ιόντα από τα χρωστικά μπορεί να παραμείνουν μέσα στο φιλμ οξειδίου, προκαλώντας μετανάστευση ιόντων, μόλυνση και κινδύνους αξιοπιστίας για τις συγκροτήσεις ημιαγωγών.

Η σφραγίδα χωρίς νικέλιο μεσαίας θερμοκρασίας αποτρέπει τα υπολείμματα ιόντων νικέλίου.

Η κύρια διαμόρφωση είναι πλήρως αυτόματη για μαζική παραγωγή· μια ημιαυτόματη / χειροκίνητη μονάδα καθαρισμού μπορεί να παρασχεθεί ως προαιρετική αναβάθμιση για παραγγελίες δειγματοληψίας.